煙氣在線連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(CEMS)基于干煙氣的條件對(duì)煙氣中污染物進(jìn)行量化計(jì)算。但工業(yè)排放的煙氣并不是理想的干煙氣，總是含有一定的水分，所以煙氣濕度成為煙氣污染源監(jiān)測(cè)中的一個(gè)必測(cè)因子，其測(cè)量的準(zhǔn)確度直接關(guān)系到污染物排放總量、濃度計(jì)算及煙氣凈化系統(tǒng)效率的評(píng)估。

   濕度在線測(cè)量的方法主要有干濕氧測(cè)定法、濕度傳感器法、激光光譜法、紅外光度法等 。激光光譜法、紅外光度法等在國外也有應(yīng)用，國內(nèi)應(yīng)用很少。

   煙氣濕度在線測(cè)量在國內(nèi)主要有干濕氧法和阻容法。干濕氧法通過氧化鋯檢測(cè)器測(cè)定煙道的濕氧含量和在煙氣分析儀中內(nèi)置的氧傳感器測(cè)定的經(jīng)脫水后的干氧含量，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)換算方法可得到煙氣濕度,具有操作簡便、無需溫度穩(wěn)定的優(yōu)勢(shì)。但值得注意的是，現(xiàn)場無法提供同一測(cè)點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)干氧，測(cè)量準(zhǔn)確性存在一定偏差。同時(shí)依據(jù)氧化鋯的物理特性，如遇到工藝樣氣溫度突然變冷，或含有大量水蒸氣時(shí)鋯管容易炸裂，且不宜測(cè)量含有還原性氣體的高溫?zé)煔?，大大限制其在現(xiàn)場應(yīng)用。

   阻容法煙氣濕度儀是目前CEMS濕度測(cè)量中最為廣泛、成熟的技術(shù)，其測(cè)量原理是依據(jù)煙氣排氣中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函數(shù)關(guān)系，直接測(cè)量煙氣排氣中含有的水分量。該方法具有測(cè)量靈敏，方法簡單，對(duì)其他氣體無交叉干擾的優(yōu)點(diǎn)。阻容法測(cè)量煙氣濕度具有廣闊的發(fā)展前景。但其在高溫、強(qiáng)腐蝕性煙氣測(cè)量中需要注重對(duì)測(cè)量探頭的保護(hù)。此外，煙氣濕度隨煙氣溫度變化而發(fā)生變化，采用溫度補(bǔ)償還可減少水分測(cè)量的誤差。